提高表面粘接、涂層附著力
產(chǎn)品編號：JL-IVM
產(chǎn)品用途：LED，Wafer引線框架清洗活化，粘片/鍵合/塑膜/封裝前進行處理，對產(chǎn)品表面去除靜電、粉塵、氧化物、活化等，提高材料表面的親水性、活化性、附著力和粘接力等。
應(yīng)用領(lǐng)域：SMT制程、PCB/FPC加工等。
產(chǎn)品簡介
Wafer在線等離子清洗機是一款針對從wafer制造的高效率光刻膠去除工藝到芯片封裝領(lǐng)域獨特的在線式等離子清洗工藝 ，適用于wafer清洗及芯片封裝的多功能設(shè)備，滿足客戶全方位需求。
產(chǎn)品規(guī)格
型號 | JL-IVM-010 | JL-IVM-011 |
外形尺寸MM | 1600(L)*1000(W)*1700(H)MM | 1600(L)*800(W)*1400(H)MM |
腔尺寸 MM | 300(L)*500(W)*50(H) | 300(L)*120(W)*50(H) |
軌道數(shù)量 | 雙軌八道 | 單軌一道 |
清洗效率 | 600片每小時 | 120片每小時 |
等離子發(fā)生器 | 13.56MHz，0~600W可調(diào)。 | 13.56MHz，0~300W可調(diào)。 |
真空度 | 0.01~0.8Torr | 0.01~0.8Torr |
氣體通道 | 2路，（O2/Ar/H2/CF4可選） | 2路，（O2/Ar/H2/CF4可選） |
產(chǎn)品尺寸(MM) | 長140~280，寬30~80,可定制 | 長140~280，寬30~80,尺寸可定制 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
真空泵 | 無油泵 | 無油泵 |
針對產(chǎn)品 | 集成電路/LED封裝 | 集成電路/LED封裝 |
功能應(yīng)用
1、LED，Wafer引線框架清洗活化。
2、Silicon Wafer晶圓表面活化。
3、粘片前進行處理，提高芯片附著力。；
4、鍵合前進行處理，提高鍵合強度。
5、塑模和封裝前進行處理，減少封裝分層。
6、硅晶片的表面有機物的清洗。
產(chǎn)品優(yōu)勢
1、針對LED，IC封裝工序設(shè)計。
2、配備自動上片，傳輸，清洗，收片等功能。
3、高度自動化作業(yè)，減少人員干預(yù)，降低二次污染風(fēng)險。
4、模塊化設(shè)計，組件更換靈活，切換產(chǎn)品快速。
5、采用13.56MHZ電源，清洗時間短，無濺射，溫度低。
6、運行過程實時監(jiān)控，動畫指示工作過程，一目了然。
7、設(shè)備操作權(quán)限分級管理，生產(chǎn)過程可管控。
8、故障報警可追索，有提示，快速排查故障部位，便于維護。
聯(lián)系方式
Wafer在線等離子清洗機 訂購熱線：135-3805-8187 電話咨詢 （微信同號）
